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PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能
前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 (成膜、エッチング・アッシング、アニール) カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成(ロードロックタイプ、インラインタイプなど)をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。(加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他) ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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吸着保持ではないため、ウェーハ破損のリスクを最小限にできます
どをベルヌーイ保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。 吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。 【特徴】 ■サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能 ■ワークとの接触はパッド(材質:フッ素...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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