組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

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メーカー・取り扱い企業： シンプルテック株式会社

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●単軸 / 2軸(XY)(全4種類) ●各ストローク：50mm, 100mm, 150mm, 200mm ●各分解能：5nm ●繰り返し位置精度：各0.8μm ●精度(2s, μm)：10, 12, 14, 16 ●最小移動距離：各100...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル