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太陽電池・液晶(G10.5まで対応)・半導体向けや、スパッタリングター…
ト材、ヒーター、石英ガラスなどの消耗部品まで、 豊富なラインアップでお客様のニーズにお応えいたします。 独自設計による熱解析シミュレーション技術を応用し、 冷却効率が高くより安定したスパッタリングを実現。 様々な加工・溶接などのご相談からご提案、 太陽電池・液晶(G10.5まで対応)・半導体向けや、スパッタリングターゲットはもちろん メッキやブラスト等の表面処理、焼鈍、使用後...
メーカー・取り扱い企業: 京浜ラムテック株式会社
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従来までの課題を解決!低ダメージ性を維持したまま、成膜速度を大幅に向上…
従来の平板式スパッタリングでは、基板に大きなダメージを与えており、 対向式スパッタリングでは、成膜速度が遅く実用に課題がありました。 当社の「RAMカソード」は、ターゲットで四方を囲むことにより、 ターゲット...
メーカー・取り扱い企業: 京浜ラムテック株式会社
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