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インライン機から、カセットローダー・アンローダーを備えたスタンドアロー…
それぞれの基板は各ロボットにより圧着部へ移載され、オートアライメントを行い圧着します。圧着後、再度アライメントを行い、UV照射によりUV材を硬化させ、仮固定し、下流へ排出します。ウェハー等多種の基板に対応し、インライン機から、カセットローダー...
メーカー・取り扱い企業: 常陽工学株式会社
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