厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ

PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

CZウェーハ　エピ受託加工　SiGeエピウェーハ　他

PR小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応…

「エピウェーハ」 1. ディスクリートデバイス向けや IC powerデバイス向けに使用されております。 ＊直径: 100-200 mm ＊Epi層ドーパント: Boron 、Phosphorous ＊Epi層抵抗値: 0.01-500 Ω/cm ＊Epi厚: 1-150 um ＊Stacking fault: 10 /cm2 以下 ＊Thickness Uniformity: ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

光学干渉式リアルタイム膜厚モニター　AvaThinfilm

卓上で簡単に膜厚測定できる、光学干渉式リアルタイム膜厚モニター。10n…

小型で使いやすい分光器を利用して、卓上で簡単に薄膜の膜厚測定が可能なシステム。 分光器はファイバーを替えればレーザの計測、その他いろいろに利用できるのも魅力。 測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを利用して計測し、ソフトにn値とk値がデータ...

メーカー・取り扱い企業： フォトテクニカ株式会社