成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ

高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバ…

RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.