小型ウエハー自動露光装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。　オリフラアライナーも装備 ...ワークサイズ ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ） 露光方式 ： バキュームコンタクト、ハードコンタクト、 プロキシミティ ランプハウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所