高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 ＜特長＞ ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許容背圧： 20MPa ・使用温度範囲： -10～8...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ウルトラファストダイヤフラムバルブ 『UFシリーズ』

超高純度ダイヤフラムバルブ。 原子層蒸着 （ALD) ・高速スイッチ（…

ウルトラファストシリーズは、原子層蒸着（ALDプロセス)用途に代表される、正確に同じ条件で安定稼働し続けることを要求される高速開閉かつ高温の高純度プロセス向けに設計されています。独自の流量調節メカニズム（特許出願中US61/910，079号）を採用し正確な流量を保つよう微調整しながら使用することが可能です。 ＜特長＞ ・高速バルブ開閉（バルブ反応時間： 5ms未満） ・超高寿命（１億回の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン