エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

サーボモータ用高性能ギヤヘッドシリーズ

小・中容量サーボモータ用の高精度・高剛性の遊星歯車減速機

■HarmonicPlanetary(R) HPGP/HPGシリーズ 薄肉弾性歯車技術を遊星歯車減速機の内歯車へ応用した遊星歯車減速装置です。 これにより内歯車の弾性変形を利用し、調整機構なしで低バックラッシを実現しました。 　◆バックラッシ３分以下（特殊品１分以下） 　◆低減速比：1/3~1/50 　◆高効率90％以上（型番11,14は85％） 　◆クロスローラ・ベアリング一体構造に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ