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  • 大容量RF同軸コネクタカタログあり

    RF電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッ…

    製造装置の種類の中でもエッチャーやCVD等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット(RF電源~マッチングボックス~プロセスチャンバー等)を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトッ...(つづきを見る

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