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    Equilibarドームロード背圧レギュレーターは複数オリフィス設計により、上流側の流量変動による設定圧力への影響が小さく、安定した制御を行う事が可能です。 柔軟なダイアフラムのみで制御するので,スプリング式背圧弁のように摩擦で精度が落ちることは無く、応答速度も速いです。 パイロットポートを真空ポンプと繋げることで、真空レギュレーターとしてご利用頂けます。 【特徴】 ■大半のアプリ...(つづきを見る

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    ニルテトラカルボン酸二無水(BPDA)とジアミンとの縮重合による,全芳香族系ポリイミド樹脂の成形体です。 ========================= 【用途】 ■半導体製造装置:CVD、成膜、エッチング、洗浄装置のガイドやスペーサー。ボンダー治具 ■半導体検査治具:ICテスト治具、耐熱、耐絶縁性、耐摩耗性、微細加工 ■液晶・有機EL:ワークの受け、搬送部品、位置決め部品、摺...(つづきを見る

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