特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、 各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。 シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト が使用されています。 【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具　ほか ...

メーカー・取り扱い企業： 穴織カーボン株式会社