機能材料『CVD-SiC』

優れた高純度・耐食性！半導体製造装置部品として高い性能を発揮します

『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。 高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。 長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発生しません。 また、プロセスによって適したグレードを選択できます。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■長寿命 ■低抵抗、高抵抗グレード ■プロセスによって好適なグレードを選択...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

機能材料『PG（熱分解グラファイト）』

セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料

『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。 半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは 実現が困難な形状が作製できます。 また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れています。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■優れた加工性 ■高い熱伝導率 ■セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能 ■銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れる（面...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部