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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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高速・正確・高い再現性で効率的!配線と配管をつなげるだけで動作!分析等…
『VDMシリーズ』は、ガス用・液体用の流量コントローラと 温度コントロール可能な気化器で構成される液体供給システム『CEMシステム』に 電源・コントロール機能・1.8インチTFT液晶ディスプレイといった 運転に必要な機能を加えて小型の筐体に内蔵した蒸気供給装置。 配線と配管をつなげるだけで動作し、100 mln/minから 10 ln/minの範囲で飽和蒸気圧までの蒸気を供給できます...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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