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耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…
高純度イットリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・プラズマエッチング装置 ・CVD装置 ・静電チャック ・焼成トレイ など 【メッセージ】 フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。 セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございまし...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジミインコーポレーテッド
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