GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。 パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル