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均熱性に優れた面状ヒーター!
『HFC-Ox』は、C/Cコンポジット(炭素‐炭素複合材)を使用したヒーターが 石英ガラスに完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1,000℃までの 昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。 主に、薄膜装置(CVD/スパッタリング等)や半導体製造装置(基板加熱/ フラッシュアニール等)への組み込みに適しています。 【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1,000℃まで昇温可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナガノ
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