【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社