書籍：プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構理解

■「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて■

電気回路、電磁気学、放電工学、流体力学、化学工学、表面科学… 様々な学問体系が絡み合う、複雑なプラズマCVDを「使いこなしたい！」と願う技術者・研究者へ ○「こういう膜質にしたい」という要望はあるものの、取るべき手段やその理由がわからない人に ○「この数値が関係しそうだ」と予想はつくが、実際にはどうしたらいいかわからない人にも ○ または、自社装置だけでなく「こうしたらいいですよ」と...

メーカー・取り扱い企業： サイエンス＆テクノロジー株式会社