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低吸水率で成膜ムラの解消を実現!
基板に成膜する際のムラを解消するため、吸水率の低いスーパーエンジニアリングプラスチック「スミカスーパーS1000」が採用されました。■採用例:CVD装置のキャリア部品 ■材質:スミカスーパーS1000■加工:機械切削加工■採用理由:吸水率が低い、キャリアの欠け破損防止 ...
メーカー・取り扱い企業: 八十島プロシード株式会社
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