ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチコーター　「FEコーター」

高機能フィルム向けの高度にして繊細な薄膜塗工を実現するマルチコーターで…

コンパクトにまとめられた3つの塗工ヘッド、美しいサインカーブを描く非接触乾燥炉、きれいな膜上がり端面を実現するCOAST CONTROLS社製EPC(Edge Position Control)を搭載。...対象基材：厚み約５ミクロンから１ｍｍ程の紙、フィルム、金属箔 ラミネート基材：PET PE　200mm～335mm 塗工ヘッド； １．ダイ＋圧送式供給ユニット（万能型ヘッド、無脈動ポンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイド...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社