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【受託開発事例】M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置
シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介!
■開発製品:M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置 ■特長 ・シリコンウェハーの切り欠き部を検出し、一方に揃えカセット内に積み重ねていく装置 ・SH2マイコン+PPMC312+FPGAにより、多軸のACサーボ、ステッピング・モータを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アンペール 友部事業所/産業機器部
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