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高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現! 2-12イン…
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。 内蔵式コントローラー...
メーカー・取り扱い企業: ハイウィン株式会社
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8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 8インチオープンカセット...
メーカー・取り扱い企業: ハイウィン株式会社
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高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度&高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。 ...シングルアーム/ダブルアーム アーム長 135m...
メーカー・取り扱い企業: ハイウィン株式会社
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