アンモニア分解除害装置

GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

置はNH3を触媒分解により窒素と水素に分解、完全無害化します。 ・MOを含むGaN製造プロセス排ガス中の有毒ガスを効率的かつ安全に除害します。 ・酸化法によるNH3除害などで問題となるNOxの発生は全くありません。 ・火炎式（燃焼式）でない為、プロパン供給設備や排水設備は必要ありません。 　（但し、A20分解筒は水冷式を採用しております。） ・除害後のガス中は除害対象ガ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

PFC触媒加熱分解装置

CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分…

。 【特長】 ・付帯設備を必要としないため、省スペース、低ランニングコストを実現しました。 ・火炎、燃料が不要ですので、高い安全性があります。 ・分解温度が比較的低温のためサーマルNOxの発生がありません。 ・触媒成分がフッ素化合物の吸収固定も行うためウェットスクラバー等の後 　処理装置が不要です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

常温吸着式空気精製装置

常温吸着式空気精製装置

各不純物濃度は1ppb以下です。 ・ニ系統以上の筒の自動切換により、高純度に精製された空気を安定して連続供給します。 ・自己再生式吸着筒で低ランニングコストを実現しました。 ・NOx,THCおよびVOCも除去が可能です。 ・ガス精製前、精製後の酸素濃度は変わりません。 ・大型機も製作が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社