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H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…
【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベルの2つ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット
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