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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…
PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度で、且つイオンの運動エネルギー抑制に寄与する事で、様々な用途において、理想的な...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…
PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度で、且つイオンの運動エネルギー抑制に寄与する事で、様々な用途において、理想的な...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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