低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

直動型 高速サーボ弁『DAシリーズ』

優れた応答性と耐コンタミ性！アンプ一体型とアンプ別置き型をラインアップ

『DAシリーズ』は、デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる 強磁界を得て、その環状空間に差動型ボイスコイルを配置し、従来の 倍以上の推力を発揮し、優れた応答性、優れた耐コンタミ性を有する 油空圧用流量制御弁です。 作動油汚染度NAS1638 10級以下（推奨フィルタ：アブソリュート20μm）。 アンプ一体型「DA03S」、アンプ別置き型「DA03RS」の2種類の形状を ...

メーカー・取り扱い企業： 伸栄産業株式会社

水／ＬＬＣ用流量計　MIMシリーズ　コンパクト設計の電磁流量計

駆動部がないので摩耗や詰りの心配不要！低圧力損失で温度計計測も同時に可…

水用流量計　MIMシリーズ 【特長】 ・ファラデーの電磁誘導の法則を用いた電磁流量計 ・流路に駆動部のがない ・低圧力損失 ・摩耗や詰りなどの心配不要 ・取付姿勢に応じ表示部は90°反転 ・設置姿勢は水平／垂直いずれも可能 ・温度も同時に計測 ・高温仕様も用意（Max 140℃） ・導電性20μS/cm以上の流体であれば計測可能 【主な適応流体】 ・水，不凍液，ＬＬＣ，...

メーカー・取り扱い企業： 日本テスコン株式会社