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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット!
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm~選択可能 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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