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クリーンルーム内の、使用したガスを無害化する装置のコントロールや状態監…
体・液晶デバイスなどの製造や研究施設があるクリーンルーム内は特殊ガスなどを使用しているため、人体に危険な状況が発生する可能性があります。このため内部にいる作業員の安全確保が必要不可欠となります。SCADAソフトなどを使いガス制御、各センサーなど多彩な情報をリアルタイムでモニタリングおよびコントロールすることにより設備および作業環境の安全を確保します。 【特長】 ■リアルタイムでモニタリン...
メーカー・取り扱い企業: 広和計装株式会社
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エンクロージャーと部屋からの生物汚染を除去する汎用システム
デュアルループ技術は、最初に蒸気を放出し、次に過酸化水素蒸気を水蒸気と酸素に急速に変換することで効果を発揮します。全てのサイクルの詳細は印刷され、リアルタイムのサイクルデータはLIMS、BMS、SCADA、または他のデータ収集システムで記録するためイーサネットを介して使用が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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