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    超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

    ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブ...(つづきを見る

  • カタログあり

    世界最高制度のRGAをお届けします。

    RGA(残留ガス分析)技術分野で世界をリードするインフィ コンが、お客様の真空アプリケーションニーズに最適なスタ ンダード、およびハイパフォーマンス型残留ガス分析計を提 供します。トランスペクターMPSとトランスペクターMPH は、どちらも業界最高クラスのデータ収集速度、最小検知分 圧(MDPP)、S/N比を実現しています。ランニングコス トが低く、平均故障間隔(MTBF)の長いトラン...(つづきを見る

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