完全非接触検査装置　「GX3/GX7」

電極パターンに傷をつけない完全非接触検査装置

世代対応 ○パターンへの傷はなし。パーティクル発生無し ○パターンなどに付着したゴミ等による、誤判定が生じる可能性は極小 ○段取替え不要(レシピ切替で対応) ○検査のタクト：8世代クラス（TFT-LCD)で約95秒 ○検査可能ピッチ：最小ピッチ:50um、最小ライン巾:3um ○ランニングコスト不要 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： オー・エイチ・ティー株式会社