真空UV硬化装置『ＫＮＵＶ－１』

真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ 最大８インチまでのウ…

00mm 装置質量 200 kg ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V 10 50/60Hz 1.5 kVA エアー源 0.4 MPa 以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型 TFT カラー液晶モニター、非常停止、 USB ポート 1 ヶ UV ランプ 高圧水銀灯 オゾンレスタイプ 主波長 365nm 発光長 200mm 真空ポンプ 最大排気速度： 500 L/min...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

ション］ 装置質量 350 kg ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V 10 50/60Hz 3.0 kVA エアー源 0.4 MPa 以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型 TFT カラー液晶モニター、非常停止、 USB ポート 1 ヶ RF 電源 最大 1kW : 13.56MHz 総合通信局への申請が必要です ガス源 Ar1 系統標準： 0.1 0.15MPa ※O...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社