『超精密ピエゾステージ／精密ピエゾモータステージ』

最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現…

製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社