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スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。…
「高粘度用スリットコータ」は、スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。 ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に適しています。 高粘度液の粘度特性を利用し、スリットノズル、高精度ステージを加熱した高精度塗布を実現。 スリットノズル先端の自動洗浄機能により生産性を向上させることができます。 【特徴】 ○均一性に優れた塗布精度の高いレジスト塗布...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ドリーメックステクノ
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