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本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。
低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。 サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。 マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。 ...ワークサイズ:φ10~φ100mm(max. φ4インチ、□70mm)基板対応 カップサイズ:φ220mm(インナーカップφ217mm) 常用回転数 :0~7000rpm±1rpm以下(負荷時...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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