ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

PRALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転…

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

超精密測定器具「セラミックス製　超精密XYステージ」

姿勢精度2秒以下の高精度を実現！検査装置の位置決めに好適な超精密XYス…

「セラミックス製　超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社