フィードバックステージ（位置決め）の選び方

光学式リニアスケール！ナノメートル分解能で位置決めをするシステム

フィードバックとはクローズドループ制御により、リニアスケールからの位置情報を監視し、位置決めの再現性を上げるシステムのことをいいます。 リニアスケールとステージ、及びコントローラによってフィードバックステージシステムが構成されています。 選定ガイドでは、お客様の仕様に合わせて、「動作タイプ」「分解能」「ストローク」の3つのポイントでのステージ選定方法をご紹介しております。 【フィード...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社