GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ ・超高温（1500℃以上）での使用が可能 ・腐食性ガス雰囲気に耐性がある ・色々な形状にも対応でき、設計の自由度が高い ■その他機能部品 ・MOCV...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。 PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、 その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。 ...

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メタルカーバイドコーティング

腐食性雰囲気の高温ウェハプロセスなどでグラファイトを保護するメタルカー…

『メタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【特長】 ■均一な被膜による高い寸法精度 ■複雑な形状にも対応できる優れた被覆...

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パイロリティックボロンナイトライド（PBN）

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…

『パイロリティックボロンナイトライド（PBN）』は、高い電気絶縁性と優れた熱伝導性を併せ持つ異方性の熱分解窒化ホウ素です。 色々な形状に蒸着製造または薄板などへの加工が可能。軽量で化学的耐性があり、耐熱衝撃性に優れた特性を有しているため高温での用途に適しています。 真空、半導体、エレクトロニクス、冶金、薄膜形成、蛍光体などで幅広く使用されています。 【特長】 ■無毒（人体に無害） ...

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