多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

方式：スピン洗浄＋ブラシ又はMS選択 回転数範囲：100〜2,000rpm 回転数設定：ボリューム設定 耐酸アルカリ仕様：耐酸、アルカリ用ボディ（PVC）使用 対溶剤仕様：IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ（SUS）使用 オプション：高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、 　　　　　　及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等 ■その他■卓上スピンコーター、露光装置、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ