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半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ
ごく微量のガス漏れを検知可能 ●水素関連設備の保安に最適 水素を1ppmの低濃度で検知可能なので、漏えい個所を見逃しません。 ●ポンプ自動停止機能を搭載 誤って水を吸引した際やアタッチメントの先端がふさがれた時など、異常を察知して自動的にポンプを一時停止し、故障を防ぎます。 その際、ポンプ復帰スイッチで通常検知に復帰できます。 ●「自動ガス排気モード」機能搭載 電源を切...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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