第三の光加熱源！LEDアニール装置

PR加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

伸線加工　タングステン・モリブデン　熱処理

自社開発した熱処理装置で、様々な熱処理加工が可能！

当社では、テンションアニール・溶体化・時効処理など、 様々な熱処理加工を行っております。 お客様のニーズに合わせた、引張強さ・硬度・真直性などの調整が可能。 自社開発した熱処理装置で、φ0.005mm以下の極細線の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トクサイ 本社

タングステン・モリブデン等　伸線・極細加工『熱処理』

自社開発した熱処理装置で、φ0.005mm以下の極細線の熱処理にも対応…

当社では、各種金属・合金の『熱処理』を承っております。 テンションアニール・溶体化・時効処理など、様々な熱処理加工が出来るため お客様のニーズに合わせた、引張強さ・硬度・真直性などの調整が可能です。 自社開発した熱処理装置で、φ0.005mm以下の極細線の熱処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トクサイ 本社