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ガイドリング、エッチャー用電極、洗浄用部材など様々な用途に利用可能!
グラッシーカーボンは、アモルファス(非品質)・発塵性無し・ 気体不透過などの特性を持つユニークな素材です。 従来のカーボンと比べ、基板ホルダー、遮熱板、サセプターなど 新たなニーズ、多種多様な用途でご利用いただいております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■軽い ■耐薬品性に優れる ■気体不透過である ■高純度 ■脱ガスフリーである ※...
メーカー・取り扱い企業: 東海ファインカーボン株式会社
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高硬度・電気絶縁性・赤外線透過性などを持つカーボン薄膜
DLC(Diamond Like Carbon)とは、プラズマを利用した気相合成法により合成される 高硬度・電気絶縁性・赤外線透過性などを持つカーボン薄膜の総称です。 DLC膜の構造は通常水素を若干含有した平滑な非晶質(アモルファス)構造で ダイヤモンド結合やグラファイト結合などを持つものと言われています。 DLCは、作製方法によって特性が異なります。 膜中の水素の有無によって、膜の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社タイヘイテクノサービス
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