イワキ薬液補充ポンプ　CFDシリーズ

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上 イワキより、イワキ薬液補充ポンプ　CFDシリーズのご紹介です。 ■□■特長■□■ ■ウエハー洗浄液の濃度管理に 優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。 ■優れた耐食性 接液部品は全てフッ素樹脂（PTFE、PFA、PCTFE...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ