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今までの露光装置とは ごみ対策が違います!
◆高精度露光 ・高精度アライメント:200万画素画像システム、新画像処理システム ・安定露光:温湿度コントローラ、イオナイザー装置、楔形真空接合方式 ◆抜群の操作性 ・マスクの清掃、傷のチェック:引き出しレール ・メンテナンス性:駆動部、露光部を分離した装置構成 ※詳細は『カタログダ...
メーカー・取り扱い企業: 豊和工業株式会社 機械事業部CE営業グループ電子機械チーム
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