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顕微鏡メーカーを問わず搬送可能!
【仕様】 ■標準仕様 ・ウエハキャリアマッピング ・ウエハ飛び出し検出 ・エラーナンバー表示 ■オプション ・静電気対策(イオナイザー) ・クリーン度向上対策(HEPA/ULPA) ・サンプルサイズ・形状対応 ・ウエハサイズ共用(2種まで) ・複数カセット対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤマトハンズ
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