リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

＜機能性部品＞耐熱/耐食/高強度/低仕事関数/長寿命化/耐摩耗性

産業用マグネトロン/分析器/X線装置/カテーテル/半導体製造装置/電気…

系の素材に、さらに＜低仕事関数＞＜長寿命＞＜高性能安定化＞などを目指し、「機能性部品」を開発から製造まで行っています。 ◆実績 ・分析ー質量分析器（電子銃、電子源） ・半導体製造装置ー（イオン注入） ・医療ーCTスキャナー（X線源）（カテーテル） ・宇宙ーイオンエンジン、ホールスラスタ（ヒーター） ・高温炉ー（リフレクター）（ヒーター）（構造部品） など ◆技術 ・コー...

メーカー・取り扱い企業： 岳石電気株式会社