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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…
ュール式(シングル・デュアルが選べます) 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE:モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ:最大3つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。シングルチャンネルの圧力計に比べて検査工程のコストを大幅に削減できます。 【半導体製造装置の流体制御に必要な圧力センサ】 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…
MPa(負圧校正標準) 〇通信:RS232、USB、IEEE-488、SCPIほか(モデルにより異なります) 〇電源:AC90~130V、AC180~260V(47~63Hz) ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。最大3つ圧力値を同時表示! ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。外部センサーポートは標準2つ、最大3つ接続可能...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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