ロングストローク三次元ステージシステム

大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能　顕微鏡ヘッド移…

えてあります。Ｘ-Ｙ軸は繰り返し位置決め精度±0.01mm、ステッピングモータ駆動、コントロールパネルによるダイレクト操作です。Ｚ軸に関してはあえて手動方式を採用してます。移動距離はハンドル部のインジケータで表示されるため数値的に移動量をコントロールできます。オプションでは高精度恒温チャンバを搭載することにより、温度変化による熱変形の状態を拡大観察・形状観測することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス