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ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過!基準値以上のボイドについての良…
『Six-3000』は、ウェーハ上のバンブを自動で検査、判定を行う X線自動検査装置です。 ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの 直径(面積)を求め、基準値以上のボイドについての良否を自...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイビット
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