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既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、極性反転機能と自動放電機能…
『PHV シリーズESC 電源』は極性反転機能と自動放電機能があり、ウェーハのチャック解除特性を改善する電源です。既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、小型軽量、更に蓄積エネルギーが低く電流制限が組み込まれている為、サージやアークからプロセスを保護します。又、Joh...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社P.R.A. 本社
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